该厂为85英寸晶圆生孩子线配合的超软水程序，时刻有含硅废气150吨。废气中虽无血本属，但硅成分高易结渣，且电阻值率需可达18MΩ·cm能力中水回用。以往整理工学院艺没有办法符合新废止的《电子器材工业园水感染物废气准则》（GB39731-2020）特别废气卫生防护距离。 废水处理工艺营养成分优缺点 大部分弄脏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、科粒硅（粒级0.1-1μm） 特异请求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水环境性状 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物型态繁杂 治理 加工过程操作流程 科技创新运用"梯级膜分离出来+电去铁离子"组合起来的工艺： 微滤预净化处理 ：1μm瓷质膜过滤大颗粒肥料硅，通量维系80LMH 化合物更换硅胶粘合剂 ：D201大孔光敏树脂的保护性吸硅酸原子 中级RO操作系统 ：首要段回笼率60%，其二段选用高脱硼膜电子器件 EDI电去阳离子 ：电压电流密度计算2A/m²，保持删去残留铁离子 太阳光的紫外线除菌 ：254nm太阳辐射线药量40mJ/cm² 高技术成效 搭建常用阻硅剂（有机质胺类pp物），延迟膜环境污染时期3倍 EDI版块不断创新流道定制，硅去掉率提高至99.8% 免费在线硅分析一下仪（检测超范围0.1-500μg/L）实行脱贫攻坚操纵 进行工作成效 经第一方的检测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L 程序收回率从原40%提高自己至68% 膜换成期延长至至5年，年程序运行成本费减少35%